干泵-螺杆真空泵

该种泵的设计因为不再使用密封液或大量真空油，从而降低了生产成本，减轻环境污染。两个螺杆形转子在圆柱形的泵体内旋转，工艺气体经轴向通过泵腔。螺杆与螺杆之间以及泵体与螺杆之间无接触，因此可以容许积累一定量的液体、冷凝特以及细小微粒。干式真空泵既可作为独立单元工作，也可以作为部件与增压泵及控制柜组成自动真空系统。 
　 
特点：
1、油或水不与工艺气体接触，无污染。
2、仅有两个转子在圆柱形的泵体内运转，且螺杆与螺杆之间无接触。
3、零部件少，点用空间少，易操作。
4、在一个大气压到1托的范围内具有较大抽速。
5、极限压力到0.1托至更低
6、简单合理的设计可以容许泵内有少量工艺过程中产生的副产品存在如：液体、冷凝物以及小微粒。